posted by 알짜 정보 岳岩 2019. 11. 29. 07:39

<삼성전자 평택 반도체 1라인 외경. <전자신문 DB>>

글로벌 1위 포토레지스트(PR) 업체인 일본 JSR가 한국에서 직접 생산에 나선다. 국내 반도체·디스플레이 업체들이 일본 수출규제 이후 공급망 다변화 및 안정화에 박차를 가하면서 일본 기업은 생산 현지화로 활로를 모색한다. 이와 함께 일본 제품을 대체할 국산 소재 양산도 '초읽기'에 들어갔다. '한·일 군사정보보호협정(GSOMIA) 종료'가 조건부 연기되면서 일본의 소재 수출 규제에 변화가 생길지 관심이 모아졌지만, 국내 기업들의 소재 다변화는 계속된다.

28일 업계에 따르면 일본 화학회사 JSR는 반도체 생산에 필요한 불화아르곤(ArF)용 포토레지스트를 한국에서 생산하는 방안을 추진하고 있다.

JSR는 현재 디스플레이 소재 공장이 있는 충북 청주시 오창에 신규 반도체 소재 생산 라인을 마련해서 고객사인 삼성전자에 직접 공급하는 방안을 검토하고 있다. JSR는 이 같은 내용을 삼성전자에 전달한 것으로 확인됐다.

ArF는 우리나라 주력 수출품인 메모리 생산에 가장 많이 사용되는 광원이고, 포토레지스트는 광원과 작용해 실리콘 웨이퍼에 반도체 회로를 그리는 필수 소재다. ArF 포토레지스트는 일본 수출 규제 대상에 오르지 않았다. 극자외선(EUV)용 포토레지스트가 대상이다.

JSR는 세계 포토레지스트 시장 점유율 24%를 차지하는 1위 업체다. JSR가 한국 내 생산을 추진하는 것은 한국 반도체 업계, 특히 삼성전자 때문이다. 세계 최대 메모리 생산 업체이자 핵심 고객사인 삼성전자가 한·일 갈등 확산 가능성을 염두에 두고 핵심 소재 수급 대책을 모색하자 '한국 생산' 카드를 꺼내든 것이다. 한·일 갈등이 언제, 어디까지 번질지 알 수 없는 만큼 삼성은 향후 대책을 수립하고 JSR는 판로 확보를 위해 대응한 것으로 풀이된다.

이 사안에 정통한 업계 핵심 관계자는 “JSR의 한국 투자 계획이 삼성전자에도 공유됐지만 최종 의사 결정 과정은 아직 남은 것으로 안다”고 전했다.

<반도체 웨이퍼<사진=전자신문DB>>

이와 함께 일본 소재를 대체할 국산화 시도도 속도를 내고 있다.

SK머티리얼즈는 최근 기체 불화수소 공장을 준공했다. 에칭가스로도 불리는 기체 불화수소는 반도체 제조 공정에서 불필요한 회로를 깎는 데 쓰인다.

기체 불화수소는 일본 쇼와덴코가 삼성전자와 SK하이닉스에 공급해 왔다. 그러나 일본의 수출 규제로 수급 우려가 제기됐고, 이후 특수가스 전문 회사인 SK머티리얼즈가 국산화에 뛰어들었다.

SK머티리얼즈는 올해 말까지 샘플을 공급하겠다고 밝혔지만 당초 계획보다 속도가 붙는 모습이다. 이 회사는 고객사 평가 등을 마지고 내년 상반기 중 반도체 양산에 실제 적용하겠다는 목표를 세웠다. SK머티리얼즈는 반도체 소재 개발의 핵심 역할을 할 통합분석센터도 경북 영주 본사에 구축했다.

<SK머티리얼즈 연구원들이 분석센터에서 반도체 공정에 사용하는 특수가스를 분석하고 있다.<사진=SK머티리얼즈>>

액체 불화수소 국산화를 준비해 온 솔브레인도 최근 공장 증설을 완료했다. 회사는 지난 10월 말 공주공장 증설을 마무리하고 가동에 필요한 모든 행정 절차를 마친 것으로 확인됐다.

액체 불화수소는 반도체 공정 가운데 웨이퍼 산화막 제거에 활용된다. 국내 반도체·디스플레이 업체들은 스텔라케미파, 모리타화학 등 일본 제품을 주로 써 왔다.

솔브레인의 공장 증설은 삼성전자나 SK하이닉스에서 필요한 물량을 소화할 수 있을 것으로 예상돼 관심을 모았다. 당초 12월 완공이 예상했지만 일본의 수출 규제에 따른 신속 투자와 행정 지원 등으로 지난 10월 양산 준비를 모두 마쳤다. 솔브레인 증설 공장에서 만들어지는 액체 불화수소는 평가가 남아 있지만 실제 반도체 양산 라인 투입은 시간문제로 보인다.

<SK하이닉스가 개발한 3세대 10나노급(1z) DDR4 D램. <사진=SK하이닉스>>

/전자신문 윤건일기자 benyun@etnews.com, 강해령기자 kang@etnews.com 세상만사

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